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据台媒经济日报报道，ASML曾于2022年宣布将投资300亿元新台币，投资中国台湾地区新北市的工厂，用于制造设备等。这笔投资会分批进行，8月29日，中国台湾经济部门通过了ASML增资1.4欧元（约合56.4亿元新台币）的计划，资金将用于晶圆测量设备等产品的代工生产，ASML同时会提供相关技术支持以及培训服务。

ASML 300亿元新台币的投资计划，用于在新北市林口工一产业专用园区设厂。中国台湾经济部门将为该项目提供2.85亿元新台币补助，未来该工厂将主要聚焦2纳米晶圆光学量测设备研发制造。

台媒称，8月29日，中国台湾经济部门同时批准了鸿海集团以3.2亿美元投资印度、越南共4家公司的计划；批准玉晶光电增资茂晶光电（厦门）的计划。